MOON: un réacteur ALD/MOCVD pour les mesures in situ

Projet ANR MOON coordonné par Jean-Luc Deschanvres (2011-2016):
Pour affiner la compréhension et le contrôle des mécanismes de croissance qui gouvernent le processus de dépôt ALD et MOCVD, les techniques de caractérisation in situ constituent des voies d’investigation de premier ordre.



Le réacteur MOON a été spécialement conçu pour mettre en oeuvre plusieurs techniques de caractérisation in situ. Ce réacteur a des spécifications uniques au monde qui permettent de réaliser:

Dans un environnement synchrotron, de caractériser

- les propriétés structurales par diffraction de rayon X (dans le plan ou hors du plan)
- la morphologie par GISAXS
- l'environnement chimique et le degrée d’oxydation par des techniques de spectroscopie d’absorption  (XANES, EXAFS)
- les épaisseurs des couches par réflectrométrie ou par fluorescence X

Dans un environnement laboratoire ou synchrotron , il est possible aussi de mesurer
- la contrainte générée par la couche déposée en utilisant une méthode optique (matrice de laser)
- la photoluminescence
- les propriétés optiques par éllipsométrie

Vous trouverez plus de résultats ici