MOON: un réacteur ALD/MOCVD pour les mesures in situ
Publié le 18 mai 2016
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Communiqué
du 3 mai 2016 au 16 juin 2016
Le projet ANR P2N MOON a permis de construire un réacteur ALD et MOCVD spécialement adapté aux mesures in situ
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mise à jour le 16 octobre 2019