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Dépôt chimique en phase vapeur assisté par aérosol (AACVD)

Parmi les techniques CVD à source liquide, l'AACVD par l'utilisation de la pulvérisation ultrasonore permet une élaboration à pression atmosphérique dans des conditions conduisant à une croissance très bien contrôlée avec comme résultats marquants différents type de croissance selon les conditions expérimentales :

l'épitaxie de film minces [VO2/Saphir, SnO2/TiO2 ]

le contrôle de la texture [Cu2O]   

la formation de nanostructures de type fleur [TiO2].

La technique CVD est également versatile en terme de conditions de croissance et de classe de matériaux:
- Amélioration des propriétés de luminescence par assistance plasma ou UV lors du dépôt (amplification optique et conversion spectrale du rayonnement solaire).
- Obtention de film de fluorure (YF3:Er) et oxyfluorure très luminescent par l'utilisation de précurseurs fluorés.

Personnel non permanent

Postdocs:
Andrii Voszni

  publications séléctionnées

"The Role of Humidity in Tuning the Texture and Electrical Properties of Cu2O Thin Films Deposited via Aerosol-Assisted CVD", H. Liu, V. H. Nguyen, H. Roussel, I. Gélard, L. Rapenne, J.-L. Deschanvres, C. Jiménez, D. Muñoz-Rojas, Adv. Mater. Interfaces (2018) 1801364.

“Exploring the optical properties of Vernier phase yttrium oxyfluoride thin films grown by pulsed liquid injection MOCVD”, S.-T. Zhang, M. Modreanu, H. Roussel, C. Jiménez and J.-L. Deschanvres, Dalton transaction, 47 (2018) 2655-2661.

“Up-conversion luminescence in Er/Yb-doped YF3 thin films deposited by PLI-MOCVD”, E.L. Payrer; A.L. Joudrier ; P. Aschehoug; R.M. Almeida; J.L Deschanvres , Journal of Luminescence, 187 (2017) 247-254.

“Structural study of TiO2 hierarchical microflowers grown by aerosol-assisted MOCVD”, Biswas S , Kar A , Jiménez C , Khan A , Forissier S , Muñoz-Rojas D , Deschanvres J L., CrystEngComm, vol. 19, issue 11 (2017) 1535-1544.

“The quest towards epitaxial BaMgF4 thin films: Exploring MOCVD as a chemical scalable approach for the deposition of complex metal fluoride films”, Battiato, S.a, J-L. Deschanvres, H. Roussel, L. Rapenne, B. Doisneau, G G. Condorelli, D. Muñoz-Rojas, C Jiménez, G. Malandrino., Dalton Transactions, 45, Issue 44 (2016) 17833-17842.

“Efficient upconversion in Er3+ doped Y2O3/Si thin film deposited by aerosol UV-assisted MOCVD process”, Rached Salhi and Jean-Luc. Deschanvres, Journal of Luminescence, 170 (2016) 231-239.

Couvertures


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