Parmi les techniques CVD à source liquide, l'AACVD par l'utilisation de la pulvérisation ultrasonore permet une élaboration à pression atmosphérique dans des conditions conduisant à une croissance très bien contrôlée avec comme résultats marquants différents type de croissance selon les conditions expérimentales :
l'épitaxie de film minces [VO2/Saphir, SnO2/TiO2 ]
le contrôle de la texture [Cu2O]
la formation de nanostructures de type fleur [TiO2].
La technique CVD est également versatile en terme de conditions de croissance et de classe de matériaux:
- Amélioration des propriétés de luminescence par assistance plasma ou UV lors du dépôt (amplification optique et conversion spectrale du rayonnement solaire).
- Obtention de film de fluorure (YF3:Er) et oxyfluorure très luminescent par l'utilisation de précurseurs fluorés.
Personnel permanent
Personnel non permanent
Andrii Voszni
publications séléctionnées
“Exploring the optical properties of Vernier phase yttrium oxyfluoride thin films grown by pulsed liquid injection MOCVD”, S.-T. Zhang, M. Modreanu, H. Roussel, C. Jiménez and J.-L. Deschanvres, Dalton transaction, 47 (2018) 2655-2661.
“Up-conversion luminescence in Er/Yb-doped YF3 thin films deposited by PLI-MOCVD”, E.L. Payrer; A.L. Joudrier ; P. Aschehoug; R.M. Almeida; J.L Deschanvres , Journal of Luminescence, 187 (2017) 247-254.
“Structural study of TiO2 hierarchical microflowers grown by aerosol-assisted MOCVD”, Biswas S , Kar A , Jiménez C , Khan A , Forissier S , Muñoz-Rojas D , Deschanvres J L., CrystEngComm, vol. 19, issue 11 (2017) 1535-1544.
“The quest towards epitaxial BaMgF4 thin films: Exploring MOCVD as a chemical scalable approach for the deposition of complex metal fluoride films”, Battiato, S.a, J-L. Deschanvres, H. Roussel, L. Rapenne, B. Doisneau, G G. Condorelli, D. Muñoz-Rojas, C Jiménez, G. Malandrino., Dalton Transactions, 45, Issue 44 (2016) 17833-17842.
“Efficient upconversion in Er3+ doped Y2O3/Si thin film deposited by aerosol UV-assisted MOCVD process”, Rached Salhi and Jean-Luc. Deschanvres, Journal of Luminescence, 170 (2016) 231-239.
Couvertures