Des sols polymères inorganiques (e.g. à base de TiO2 ou de ZnO) sont formulés par des procédés sol-gel pour produire des résines en couche mince qui peuvent être structurés par des méthodes de photogravure et/ou de nanoimpression en une seule étape lithographique. Les études conduisent à des motifs micrométriques ou nanométriques tirant parti des propriétés spécifiques des matériaux inorganiques (optiques, électriques, mécaniques....). Ces motifs peuvent être combinés avec d'autres méthodes de synthèse liquide, par exemple la croissance sélective de nanofils de ZnO. Ils sont étudiés pour des applications dans différents domaines (photovoltaïque, thermo-solaire, éclairage à LED, capteurs chimiques optiques....) en collaboration avec différents partenaires académiques et industriels.
Réseaux de diffraction submicroniques par photolithographie sur une résine de TiO2 (a), nanoplots par couplage photolithographie/nanoimprint sur une résine de TiO2 (b), croissance hydrothermale sélective de nanofils de ZnO sur une résine de ZnO photogravée (c).
Réseaux de diffraction submicroniques par photolithographie sur une résine de TiO2 (a), nanoplots par couplage photolithographie/nanoimprint sur une résine de TiO2 (b), croissance hydrothermale sélective de nanofils de ZnO sur une résine de ZnO photogravée (c).
Contact
FunSurf axes
- Déposition Chimique à Pression Atmosphérique
- Chimie Liquide et Fonctionnalisation de Surface
- Matériaux Transparents Conducteurs
- Nanostructures pour Capteurs
Main publications
- "New insights in photo-patterned sol-gel derived TiO2 films", S. Briche, Z. Tebby, D. Riassetto, M. Messaoud, E. Gamet, E. Pernot, H. Roussel, O. Dellea, Y. Jourlin, M. Langlet, J. Mater. Sci. 46 (2011) 1474.
- "Large area fabrication of periodic TiO2 nanopillars using microsphere photolithography on a photopatternable sol-gel film", O. Shavdina, L. Berthod, T. Kämpfe, S. Reynaud, C. Veillas, I. Verrier, M. Langlet, F. Vocanson, P. Fugier, Y. Jourlin, O. Dellea, Langmuir 31 (2015) 7877.
- "Direct fabrication of a metal-like TiN-based plasmonic grating using nitridation of a photo-patternable TiO2 sol-gel film", L. Berthod, V. Gâté, M. Bichotte, M. Langlet, F. Vocanson, C. Jimenez, D. Jamon, I. Verrier, C. Veillas, O. Parriaux, Y. Jourlin, Opt Mater Express 6 (2016) 2508.
- "Dynamic interferometry lithography on a TiO2 photoresist sol-gel for diffracting deflector module", V. Gâté, L. Berthod, M. Langlet, F. Vocanson, I. Verrier, C. Veillas,J Nanomater 8548041 (2017). A. Kaminski, O. Parriaux, Y. Jourlin,
- "Large area fabrication of periodic TiO2 nanopillars using microsphere photolithography on a photopatternable sol-gel film", O. Shavdina, L. Berthod, T. Kämpfe, S. Reynaud, C. Veillas, I. Verrier, M. Langlet, F. Vocanson, P. Fugier, Y. Jourlin, O. Dellea, Langmuir 31 (2015) 7877.
- "Direct fabrication of a metal-like TiN-based plasmonic grating using nitridation of a photo-patternable TiO2 sol-gel film", L. Berthod, V. Gâté, M. Bichotte, M. Langlet, F. Vocanson, C. Jimenez, D. Jamon, I. Verrier, C. Veillas, O. Parriaux, Y. Jourlin, Opt Mater Express 6 (2016) 2508.
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