Aller au menu Aller au contenu
Synthèse et propriétés de monocristaux, de poudres, films minces ou hétérostructures

Etudes à l'interface avec la matière biologique

> LMGP_ Recherche > Funsurf

Publication équipe SALD

Publié le 19 juin 2023
A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentEnvoyer cette page par mail cet article Facebook Twitter Linked In
Communiqué du 19 juin 2023 au 31 décembre 2023

L'article intitulé "Tuning the Texture and Polarity of ZnO Thin Films deposited by Spatial Atomic Layer Deposition through the Addition of a Volatile Shape-Directing Agent" a été publié dans Materialia

Ici vous trouverez l'article de l'équipe SALD
"Many functional devices are nowadays based on thin films deposited by physical or chemical vapour deposition methods. Being able to control the texture of the films is very important to tune their functional properties. Texture is commonly tuned by either using single crystalline substrates or seed layers, or by modifying the deposition parameters (gas flows, precursor concentration, temperature, etc.). In this study a volatile shape-directing agent (VSDA), namely 4- (5)-Methylimidazole (4- (5)-MeIM), is used during the deposition of ZnO thin films by Atmospheric-Pressure Spatial Atomic Layer Deposition (AP-SALD) to control the texture and growth rate of the films. In particular, ZnO thin films can be grown preferentially along (002), resulting in an enhanced piezoelectric coefficient. In addition, the polarity of the ZnO films also depends on the amount of VSDA used. An innovative industry-compatible approach to control texture and polarity of ZnO thin films is presented, having a clear potential for other functional materials and applications."
A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentEnvoyer cette page par mail cet article Facebook Twitter Linked In

mise à jour le 7 janvier 2024

  • Tutelle CNRS
  • Tutelle UGA
  • Tutelle Grenoble INP
Université Grenoble Alpes