Publication de l'équipe SALD
Publié le 16 mai 2023
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Communiqué
du 16 mai 2023 au 8 mars 2024
L'article intitulé "Can We Rationally Design and Operate Spatial Atomic Layer Deposition Systems for Steering the Growth Regime of Thin Films?" a été publié dans Journal of Physical Chemistry C
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mise à jour le 16 mai 2023