La réflectométrie est bien adaptée à l'étude des couches minces homogènes, amorphes ou cristallisées. Elle permet de déterminer la densité de la couche, son épaisseur (de quelques nanomètres à environ 200nm) ou encore la rugosité de surface et d'interface.
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La réflectométrie X utilise le fait que la plupart des matériaux denses ont un indice de réfraction inférieur à 1. Sous des incidences très faibles (0.5 à 2° en 2théta) il y a donc possibilité d’avoir réflection totale. Lorsque l'incidence augmente au-delà d'un angle critique, le faisceau commence à pénétrer dans le matériau. Après avoir pénétré le matériau, il y a réflection aux interfaces conduisant à des interférences constructives ou destructives. De la distance inter-franges on déduit les épaisseurs de couches.
Savoir-faire du LMGP
- Détermination des épaisseurs de couches
- Détermination de la densité des couches
- Détermination de la rugosité des interfaces.
Accès à cet équipement
Le matériel de diffraction du laboratoire fait partie du CMTC, plateforme de caractérisation des matériaux de Grenoble INP. Le CMTC est prestataire de services pour les secteurs public et privé.
Equipement utilisé:
Diffractomètre RIGAKU SMARTLAB (au cuivre), goniomètre 5 cercles :
géométrie faisceau parallèle avec miroir parabolique 1D et platine X, Y et Z
Equipement utilisé:
Diffractomètre RIGAKU SMARTLAB (au cuivre), goniomètre 5 cercles :
géométrie faisceau parallèle avec miroir parabolique 1D et platine X, Y et Z
Logiciels d'exploitation
- Leptos (version 7.10)
- Guidance (version 3.2.1.3) pour l'acquisition des données.