MEB FEG GeminiSEM 300 de ZeissEquipé d’un canon à effet de champ et de 4 détecteurs : 2 pour les électrons secondaires (un détecteur InLens dans la colonne et un détecteur Everhart & Thornley dans la chambre) ainsi que 2 pour les électrons rétrodiffusés (un détecteur EsB avec filtrage en énergie dans la colonne et un détecteur BSD rétractable 6 secteurs dans la chambre). Il permet d’obtenir une résolution de 0.7 nm à 15 kV.
MEB FEG environnemental QUANTA 250 ESEM FEG de FEI avec un détecteur SDD/ Bruker 30mm² (mai 2010 / CMTC).
Equipé d'un canon à effet de champ (Field Effet Gun / FEG) il permet de visualiser des détails jusqu'à 30 nm, indispensable à la caractérisation de lignes de gravures des futurs nanosystèmes électroniques intégrés (65 nm, puis 45 nm à l'horizon de 5 ans).
Accès à cet équipement
Le matériel de microscopie du laboratoire fait partie du CMTC, plateforme de caractérisation des matériaux de Grenoble INP. Il est à la disposition du secteur Public et Privé sous forme de prestations de service.
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