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Synthèse et propriétés de monocristaux, de poudres, films minces ou hétérostructures

Etudes à l'interface avec la matière biologique

> lmgp_equipement > CARAC

Microscopie électronique à balayage (MEB/SEM)

La microscopie électronique à balayage permet d'obtenir une image topographique d'une surface et d'analyser sa composition chimique.

Type d'échantillons étudiés

  • Poudre ou cristal,
  • Film mince,
  • Nanoparticules et nanofils,
  • Biomatériaux (grâce au MEB FEG environnemental)

Savoir-faire du LMGP

  • Etude de la topographie de surface d'un échantillon,
  • Mesure d'épaisseur de couche
  • Détermination de la composition chimique
  • Détermination des différentes phases en présence et de leur orientation cristalline,
  • Analyse de composition chimique (grâce au détecteur à analyse en énergie EDS)
  • Caractérisation de biomatériaux, matériaux pour les biotechnologies
Le LMGP a développé tout un savoir-faire en mesures in-situ grâce au MEB-FEG environnemental,  et en diffraction d'électrons retrodiffusés (EBSD)

Equipement du laboratoire

  • MEB FEG GeminiSEM 300 de Zeiss Equipé d’un canon à effet de champ et de 4 détecteurs : 2 pour les électrons secondaires (un détecteur InLens dans la colonne et un détecteur Everhart & Thornley dans la chambre) ainsi que 2 pour les électrons rétrodiffusés (un détecteur EsB avec filtrage en énergie dans la colonne et un détecteur BSD rétractable 6 secteurs dans la chambre). Il permet d’obtenir une résolution de 0.7 nm à 15 kV.
  • MEB FEG environnemental QUANTA 250 ESEM FEG de FEI avec un détecteur SDD/ Bruker 30mm² (mai 2010 / CMTC).
    Equipé d'un canon à effet de champ (Field Effet Gun / FEG) il permet de visualiser des détails jusqu'à 30 nm, indispensable à la caractérisation de lignes de gravures des futurs nanosystèmes électroniques intégrés (65 nm, puis 45 nm à l'horizon de 5 ans).

Accès à cet équipement

Le matériel de microscopie du laboratoire fait partie du CMTC, plateforme de caractérisation des matériaux de Grenoble INP. Il est à la disposition du secteur Public et Privé sous forme de prestations de service.

mise à jour le 3 avril 2020

  • Tutelle CNRS
  • Tutelle Grenoble INP
Université Grenoble Alpes