La technique EBSD (Electron Back Scattered Diffraction / Diffraction d'électrons rétrodiffusés) permet de déterminer les orientations cristallographiques locales au sein de matériaux mono- ou polycristallins. Elle permet de sonder des profondeurs sous la surface libre de l'échantillon de l'ordre de quelques dizaines de nm.
Elle est mise en œuvre avec un microscope électronique à balayage équipé d'une caméra EBSD spécifique.
Elle est mise en œuvre avec un microscope électronique à balayage équipé d'une caméra EBSD spécifique.
Contact
Mesures typiques
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taille et orientation de grains
- morphologie
- texture locale
- caractérisation des joints de grain
- déformation...
Résolution
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spatiale : entre 15 et 20 nm
- angulaire relative : < 1°
- angulaire absolue : ~2°
Equipements
2 systèmes EBSD Edax :
- Camera CCD Hikari Pro (jusqu'à 600 clichés indexés par seconde) + logiciel OIM installés sur MEB FEG Zeiss Ultra55
- Camera CCD Hikari Super (jusqu'à 1400 clichés indexés par seconde) + logiciels OIM et TEAM installés sur MEB FEG Zeiss GeminiSEM 500
Accès à l'équipement
Le matériel de microscopie du laboratoire fait partie du CMTC, plateforme de caractérisation de matériaux de Grenoble INP. Il est à la disposition du secteur Public et Privé sous forme de prestations de service.