Mots-clés:

Nanofils de ZnO, dépôt en bain chimique, nanogénérateur piézoélectrique, couche d’amorce en or, contrôle morphologique, dopage compensatoire, lithographie

Résumé

En transformant l’énergie portée par des vibrations mécaniques environnantes en signal électrique, les nanogénérateurs piézoélectriques suscitent un intérêt particulier pour l’alimentation de dispositifs de petites tailles, où une forte capacité de miniaturisation et une autonomie importante sont typiquement requises. Le développement de nanogénérateurs efficaces à partir de matériaux abondants et non toxiques et au travers de procédés bas coûts reste toutefois à l’heure actuelle un défi technologique majeur. Dans ce contexte, l’utilisation d’oxyde de zinc (ZnO) sous forme de structures nanométriques cylindriques (nanofils) est extrêmement prometteur. Ainsi, cette thèse s’attache à l’élaboration de telles structures en oxyde de zinc, où plusieurs stratégies complémentaires sont développées pour contrôler précisément leurs propriétés morphologiques et électriques, constituant des étapes indispensables pour obtenir des nanogénérateurs piézoélectriques hautement performants.