SEMINAIRE LMGP - 6 février 2024 - Samuel Margueron

Samuel Margueron,
Enseignant-Chercheur Supmicrotech-ENSMM
Responsable de l’équipe piézoMEMS,
Département Temps-Fréquences
Institut FEMTO-ST

Abstract

Les monocristaux LiNbO3 sont des matériaux bien connus pour les applications photoniques et
micro-acoustiques dans l'industrie des télécommunications. Les films minces obtenus par CVD et PVD
de LiNbO3 sont en développement pour des applications industrielles mais des difficultés résident
encore dans l’obtention de films avec des propriétés physiques acceptables. Cet exposé présentera
une technologie intermédiaire de collage-polissage de cristaux monocristallins de LiNbO3. Cette
technologie permet d'accéder à des films de qualité monocristalline avec des épaisseurs contrôlées.
Après une présentation des techniques de collage et polissage, nous discuterons des propriétés et
des applications de ces technologies de ces films piézoélectriques sans plomb.

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https://teams.femto-st.fr/piezomems