Séminaire LMGP - 14/02/2017 - Christophe Vallée
Ellipsométrie spectroscopique
Christophe Vallée
LTM - Grenoble
Abstract
Une petite discussion sur l’ellipsométrie, son fonctionnement, son intérêt et ses limites. On discutera du choix des appareils et des lois de modélisation en fonction des matériaux à analyser, ainsi que des mesures in situ versus des mesures ex situ.